本实用新型公开了一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，包括气动防爆软轴驱动主机，它由气动马达驱动系统和气动真空吸附系统构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴、负压回收干拾器相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管相连，所述主机外接有脚踏阀，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。本实用新型采用全气动防爆器件，将干式软轴应用于多晶硅还原炉尾气管清洗，它安全高效、干净快捷，全程封闭工作，不会产生二次污染。将驱动系统、吸附系统、干拾系统进一步整合成组合体，使用方便灵活。