多晶硅尾气的净化装置，属吸附分离工程技术领域。由至少三个轮流实现吸附、升温再生、冷却再生功能的吸附塔连接构成，其特征是在各塔之间还设置有一氢气循环再生回路，该再生回路由连通于各塔间的循环管路和设在管路上的加热器、压缩机和冷却器构成。优点是吸附床层的再生只采用氢气，从根本上避免了其它再生介质的影响，保证了系统的安全性。采用循环式氢气使吸附剂的再生速度更快，再生更彻底，在提高了收率的同时也使氢气纯度更高。可替代现有的多晶硅吸附净化装置使用。