多晶硅尾气回收系统

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摘要

本实用新型公开了一种多晶硅尾气回收系统，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的多晶硅尾气回收系统。本实用新型的主要技术方案为：一种多晶硅尾气回收系统，包括：分离罐，分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气；换热部件，第一氢气管道设置在第一尾气管道的外部，循环水管道设置在第二尾气管道的外部，冷冻水管道设置在第一液体管道的外部，氯硅烷管道设置在第一气体管道的外部，第一气体管道连接于第一液体管道，第一尾气管道连接于第二尾气管道，第二尾气管道连接于第一液体管道，第一液体管道连接于分离罐，第二液体管道连接于分离罐。本实用新型主要用于尾气热能回收。

基本信息

专利标题：

多晶硅尾气回收系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021912593.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-04

授权号：

CN213171482U

授权日：

2021-05-11

发明人：

张强李光平

申请人：

新疆大全新能源股份有限公司

申请人地址：

新疆维吾尔自治区石河子市经济开发区化工新材料产业园纬六路16号

代理机构：

北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

孟阿妮

优先权：

CN202021912593.6

主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

C01B33/107 C01B3/50 C01B7/07 C01B33/03