一种晶圆竖直刷洗装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种晶圆竖直刷洗装置，其包括喷液组件，所述喷液组件包括喷嘴，所述喷嘴的喷射方向与晶圆的旋转方向相匹配；所述喷嘴的数量为多个，以朝向不同方向及区域喷射流体，使得喷射的流体覆盖旋转晶圆的表面。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆竖直刷洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114472307A
申请号 ：
CN202111676179.9
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
曹自立李长坤孙传恽
申请人 ：
华海清科股份有限公司
申请人地址 ：
天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道11号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111676179.9
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/02
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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