晶元载料模块及固晶机

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摘要

本实用新型提供了一种晶元载料模块，包括基座和设于所述基座上的载料台，所述载料台用于承载多边形晶元，所述多边形晶元的相邻边相交处形成晶角；所述载料台上开设有多个对应所述多边形晶元的晶角位置的镂空区。本实用新型还提供一种固晶机，包括如上述晶元载料模块。本实用新型提供的晶元载料模块及固晶机，通过在载料台上对应多边形晶元的晶角的位置开设镂空区，以使晶角正好搁置于镂空区处，防止晶角直接接触载料台，发生晶角崩裂的问题。进一步地，镂空区可沿多边形晶元的几何中心与晶角连线方向做直线延伸，这样，可以用于对应放置相同形状而不同比例尺寸的多边形晶元，有效地节约了制作不同尺寸的晶元载料模块的成本。

基本信息

专利标题：

晶元载料模块及固晶机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921124055.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-16

授权号：

CN210778538U

授权日：

2020-06-16

发明人：

杜海峰吴士华

申请人：

昆山丘钛微电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山高新技术产业开发区台虹路3号

代理机构：

上海波拓知识产权代理有限公司

代理人：

边晓红

优先权：

CN201921124055.8

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/67