固晶机
授权
摘要
本申请提供了一种固晶机，包括台架；点胶装置；点胶移位机构；固晶摆臂装置；供晶平台；以及，晶圆移动机构；固晶摆臂装置包括旋转架、多个固晶摆臂、升降器和固晶电机，各固晶摆臂上安装有吸嘴；点胶装置包括多个点胶模组。本申请提供的固晶机，将多个点胶模组与多个固晶摆臂结合，可以在保证点胶精度与质量、保证晶片取放精准的前提下，可以调整多个点胶模组运行速度与多个固晶摆臂运行速度进行匹配，减少各点胶模组及固晶摆臂的空闲时间，大幅提升固晶效率。
基本信息
专利标题 ：
固晶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020359793.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN211350593U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
胡新荣
申请人 ：
深圳新益昌科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐汉华
优先权 ：
CN202020359793.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 B05C5/02 B05C11/10 B05C13/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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