蚀刻装置和使用该蚀刻装置制造显示装置的方法
公开
摘要
提供了一种蚀刻装置和使用该蚀刻装置制造显示装置的方法，所述蚀刻装置包括：腔室；台，设置在腔室中，并且目标基底装载在台上；气体分布单元，在腔室中设置为面对台；多个等离子体产生模块，设置在腔室上方；气体供应单元，将气体供应到腔室中；气体线路，将气体供应单元和多个等离子体产生模块连接；以及多个气体入口管，每个气体入口管包括连接到多个等离子体产生模块中的对应的等离子体产生模块的一端和连接到气体分布单元的另一端。
基本信息
专利标题 ：
蚀刻装置和使用该蚀刻装置制造显示装置的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114267572A
申请号 ：
CN202111037766.3
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-09-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金大洙金湘甲吕伦钟李珠熙赵秀范崔大元
申请人 ：
三星显示有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道龙仁市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩芳
优先权 ：
CN202111037766.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 H01L51/56
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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