固晶摆臂及固晶机
授权
摘要
本申请提供了一种固晶摆臂，包括摆臂、吸嘴组件、预压组件及感应组件；吸嘴组件滑动设于摆臂一端并用于吸取晶片，预压组件用于对吸嘴组件施压一预设压力，感应组件用于感应吸嘴组件的受力状态，并在晶片对吸嘴组件的反弹力大于预设压力时将这一状态信息反馈至上位机。本申请还提供了一种固晶机，包括上述固晶摆臂。本申请提供的固晶摆臂，在摆臂下降时，可实时调节摆臂下降高度以及预设压力，从而提高了固晶精度，提高了固晶效率，且避免晶片和吸嘴损坏。
基本信息
专利标题 ：
固晶摆臂及固晶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020232658.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-28
授权号 ：
CN211265437U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
胡新荣
申请人 ：
深圳新益昌科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
汪海琴
优先权 ：
CN202020232658.6
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/677 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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