固晶模块及具有其的固晶机
公开
摘要
本申请涉及一种固晶模块及具有其的固晶机，其中，固晶模块，包括：固晶头结构；机械臂结构，机械臂结构包括一级竖向传动结构和二级竖向传动结构，二级竖向传动结构安装在一级竖向传动结构上，固晶头结构安装在二级竖向传动结构上。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中的固晶头结构在上下移动时传动的精度不高的问题。
基本信息
专利标题 ：
固晶模块及具有其的固晶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114300390A
申请号 ：
CN202111642332.6
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
喻泷
申请人 ：
深圳鼎晶科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽街道阳光社区松白路1008号企航科创研发产业园F栋101
代理机构 ：
深圳智汇远见知识产权代理有限公司
代理人 ：
聂磊
优先权 ：
CN202111642332.6
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 F16H37/12
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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