本实用新型公开了一种半导体晶圆检测用缺陷检测机，包括安装座，所述安装座的中心处固定安装有立柱，所述立柱的顶部通过定位销活动连接有放置盘，所述放置盘的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴固定安装有转盘，所述转盘的两侧均固定安装有容纳杆，所述安装座背面的中心处固定安装有安装柱。本实用新型通过设置安装座对安装柱进行安装，通过设置安装柱对检测灯进行安装，通过设置检测灯对晶圆进行检测，通过设置气缸对放置盘进行调节，通过设置电机对转盘进行驱动，同时解决了在晶圆生产的过程中，需要对其生产批次的缺陷进行抽检，目前的检测设备不方便角度调节，大大降低了抽检效率的问题。