一种半导体芯片的缺陷检测装置
授权
摘要
本发明涉及芯片检测技术领域,公开了一种半导体芯片的缺陷检测装置,包括底板,底板的两侧设有第一支撑板,第一支撑板的端部转动连接传送辊,传送辊的外部设有传送带,还包括换向机构和检测机构;换向机构,设置于底板的一侧,包括与底板固定连接的第二支撑板,第二支撑板的中部设有滑槽,滑槽滑动连接滑块,滑块的中部转动连接第二转轴;检测机构,包括与底板侧边中部固定连接的第三支撑板,第三支撑板的顶端设有顶板,顶板靠近底板的一侧设有摄像头。本发明适用于一种半导体芯片的缺陷检测装置,通过设置换向机构使得芯片可以被抓取的同时进行反转,使得芯片可以针脚朝上的放置在检测机构上进行拍照检测。
基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片的缺陷检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324399A
申请号 :
CN202210234698.8
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-03-11
授权号 :
CN114324399B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
向晟
申请人 :
深圳市芯愚公半导体有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区民治街道民泰社区星河盛世A1-A6栋A3栋1单元611
代理机构 :
深圳汉林汇融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王淼
优先权 :
CN202210234698.8
主分类号 :
B07C5/00
IPC分类号 :
B07C5/00 B07C5/02 B07C5/36 G06M7/08 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B07
将固体从固体中分离;分选
B07C
邮件分拣;单件物品的分选,或适于一件一件地分选的散装材料的分选,如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选,例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制;用手动装置,例如开关,来分选
法律状态
2022-05-31 :
授权
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/95
申请日 : 20220311
申请日 : 20220311
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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