本发明涉及一种该半导体缺陷信号检测与统计系统及方法，其中该系统包括在线监控装置、缺陷信号分析装置、缺陷信息库和缺陷信息统计装置，缺陷信号分析装置分别与在线监控装置、缺陷信息库和缺陷信息统计装置相连接，缺陷信息库中包含有数个预设的缺陷信号模式；该方法包括对半导体晶圆进行扫描并生成KLA文件、对该KLA文件进行分析和缺陷信号提取处理操作、根据处理结果进行缺陷信息统计处理操作。采用该种半导体缺陷信号检测与统计系统及其方法，整体功能的集成化程度较高，准确度和精确度较高，得出的统计结果可信度较高，而且操作过程简便快捷，工作性能稳定可靠，适用面较为广泛，对其它领域内的信号模式识别监控具有较好的实用价值。