晶圆传输盒
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种晶圆传输盒,涉及半导体领域的晶圆传输装置。所述传输盒包括盒体、盒盖以及放置晶圆的保护盒,且一个盒体只能存放一个保护盒,一个保护盒只能存放一片晶圆;其中盒体上部和盒盖下部分别设有可以相互配合的连接部;传输晶圆时,将晶圆放入保护盒内,保护盒放入盒体内,然后通过盒体上部和盒盖下部的连接部配合将盒盖安装于盒体上。进一步地,运输多片晶圆时,所述传输盒包括对应数量的盒体。本实用新型提供的晶圆传输盒,通过保护盒保护,避免了晶圆与盒体内壁的碰撞,提高了安全性;只需增加晶圆对应数量的盒体就可以实现传输多片晶圆,结构简单,且成本较低。

基本信息
专利标题 :
晶圆传输盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820055037.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-01-24
授权号 :
CN201163617Y
授权日 :
2008-12-10
发明人 :
肖志坚吕秋玲杨洪春杨斌
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所
代理人 :
屈蘅
优先权 :
CN200820055037.4
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673  B65D85/30  B65D85/86  B65D81/02  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2018-02-16 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20080124
授权公告日 : 20081210
2013-03-27 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101542403057
IPC(主分类) : H01L 21/673
专利号 : ZL2008200550374
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130222
2008-12-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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