本实用新型公开了一种复合同步超声频振动微细电解加工装置，通过微压力调节装置保持工件与微细阴极之间微压力接触，通过激光微位移传感器对微细阴极的超声频振动位置进行动态快速测量，并将其转换为包含超声振动频率、相位、幅值的电信号，传送到斩波电路处理、转换，产生通断电解电源的斩波信号，实现电解加电与阴极超声频振动的精确同频、同步，通过电流传感器将电解电流转换为电压信号，由数字存储示波器进行显示、测量、存储，再传送到控制计算机进行超声参数和电参数的自动调节。该装置将微细电解与超声频振动同频、同步有机结合，依靠超声频振动作用消除电解钝化，提高了加工精度与表面质量，降低成本，可实现任意型面微结构的微细加工。