镀膜机防屑型抽真空口结构

专利权的终止

摘要

本实用新型针对现有的镀膜机抽真空口的金属丝防护网结构易进入颗粒且降低抽真空速率的不足，提供了一种可将颗粒异物挡住同时还不降低抽真空速率的镀膜机防屑型抽真空口结构，它包括有真空腔体(1)，高抽真空管(4)的上端口位于真空腔体(1)的底部并与其连通，其特征是高抽真空管(4)的上端口装有固定挡圈(2)，拔插式防护罩(3)的内环(6)套在固定挡圈(2)上，拔插式防护罩(3)的外壳(5)下沿低于内环(6)上沿。本实用新型可有效防止颗粒异物进入抽真空口损坏分子泵，且不影响抽真空速率，拔插式结构也便于维护清洁。

基本信息

专利标题：

镀膜机防屑型抽真空口结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820040029.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-07-18

授权号：

CN201217689Y

授权日：

2009-04-08

发明人：

张远翔

申请人：

泰艺电子(南京)有限公司

申请人地址：

211100江苏省南京市江宁经济技术开发区池田路18号

代理机构：

南京天华专利代理有限责任公司

代理人：

徐冬涛

优先权：

CN200820040029.2

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/54 C23C14/56