全自动气体置换装置
专利权的终止
摘要
本实用新型主要涉及一种气体置换装置，尤其是指一种全自动气体置换装置；其系包含一氮气管路、压缩空气管路与一腔室，氮气管路与压缩空气管路可分别将氮气与压缩空气送入腔室中，以供腔室进行生产模式与清洁模式之用，本实用新型不但可减少制程生产的成本，又能降低维修人员的危险。
基本信息
专利标题 ：
全自动气体置换装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820046802.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-04-23
授权号 ：
CN201232084Y
授权日 ：
2009-05-06
发明人 ：
彭燕丰
申请人 ：
深超光电(深圳)有限公司
申请人地址 ：
518000广东省深圳市宝安区龙华镇民清路伍屋工业区东富龙民清宿舍1楼
代理机构 ：
东莞市中正知识产权事务所
代理人 ：
侯来旺
优先权 ：
CN200820046802.6
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/455
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2014-06-11 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101582884465
IPC(主分类) : C23C 16/44
专利号 : ZL2008200468026
申请日 : 20080423
授权公告日 : 20090506
终止日期 : 20130423
号牌文件序号 : 101582884465
IPC(主分类) : C23C 16/44
专利号 : ZL2008200468026
申请日 : 20080423
授权公告日 : 20090506
终止日期 : 20130423
2009-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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