本实用新型提供一种机台气体置换设备，涉及半导体设备领域，该机台气体置换设备包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。相较于现有技术，本实用新型提供的机台气体置换设备，能够快速置换机台腔体内的残存气体，并且快速去除机台腔体内的水汽残存，减少了清洁时间，提高了清洁效率。