晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种晶圆传输盒上用于固定电子标签的辅助固定元件。所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板；其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。本实用新型提供的辅助固定元件可以与传输盒本身的夹持部一起固定电子标签，在夹持部部分损坏的情况下，也可以起到固定电子标签的作用；另外，即使夹持部完全损坏了，只要辅助元件具有足够的强度和硬度，也可以代替夹持部固定电子标签，一定程度上提高了晶圆传输盒的利用率。

基本信息

专利标题：

晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820055031.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-01-24

授权号：

CN201163612Y

授权日：

2008-12-10

发明人：

任鹏程杰马海李洪燕

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200820055031.7

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01L21/673 B65D25/20 B65D1/40 G09F3/08 G09F3/16