非对称型移相光栅标记

其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)

摘要

一种非对称型移相光栅标记及在光刻机物镜像差检测中的应用，所述标记由两组非对称型移相光栅组成，两组光栅的线条方向分别为90度和0度，所述标记为交替型移相光栅，光栅中两相邻透光区域的相位差为180度；移相光栅的线空比为1∶2，移相光栅的周期为1.92λ/NA，其中，λ为光刻机照明光源的波长，NA为光刻机投影物镜数值孔径可变化范围内其最大与最小值的平均值。本实用新型通过优化移相光栅的结构和尺寸，测试标记的像差灵敏度明显提高，利用该测试标记检测光刻机投影物镜的波像差，检测精度明显提高。

基本信息

专利标题：

非对称型移相光栅标记

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820056215.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-03-14

授权号：

CN201181391Y

授权日：

2009-01-14

发明人：

邱自成王向朝袁琼雁

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

优先权：

CN200820056215.5

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 G02B27/00