本实用新型是涉及材料纳米尺度性能测试的装置，特别是涉及材料纳米尺度力学性能测试中的微加载装置。该装置主要由基座，x轴向运动机构、压头、驱动元件和预紧机构组成，压头由多个薄壁柔性铰链连接到x轴向运动机构上；x轴正向运动机构由多个薄壁柔性铰链连接到刚性基座上；所说的驱动元件由压电叠堆组成，其中的一个压电叠堆整体安装于x轴向预紧机构和x轴向运动机构之间，另一个压电叠堆整体安装于压头和压头预紧机构之间，压头的下方为放置被测材料的刚体上，刚体通过与其连接的柔性铰链连接在刚性基座上。本实用新型为了解决了现有技术无法检测加载力或检测精度不高以及系统结构复杂，造价昂贵等问题，具有结构简单紧凑、成本低等优点。