一种平面微间隙臭氧发生室，其特征在于：陶瓷薄平板为超薄氧化铝陶瓷平板，密封垫片为聚四氟乙烯密封薄片，高压绝缘板为陶瓷厚板，陶瓷薄平板和高压绝缘板两端均有进出气孔，陶瓷薄平板一侧面有高压电极、另一侧面与带地电极引线的地电极板之间垫上一张密封垫片，在密封垫片中央空缺地方形成均匀的平面微间隙，在陶瓷薄平板有高压电极的一侧叠加面积尺寸与陶瓷薄平板相同的高压绝缘板，高压电极引线从高压绝缘板穿孔中引出，地电极板、密封垫片、陶瓷薄平板和高压绝缘板用螺栓紧固在一起并在两端分别用螺栓紧固进出气接头。它的结构能保证放电间隙(气隙)的最小化，而且间隙均匀，实现与臭氧发生电源达到最佳匹配的目的。