匀胶机的排液装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种匀胶机的排液装置，至少包括两个第一排液管，其中一个用于排放匀胶液，另一个用于排放显影液，还包括一个第二排液管，所述两个第一排液管分别与该第二排液管相连通。本实用新型的排液装置，能有效防止匀胶液对排液管的堵塞，显著提高半导体的生产效率，且降低成本。

基本信息

专利标题：

匀胶机的排液装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820094858.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-06-17

授权号：

CN201229467Y

授权日：

2009-04-29

发明人：

叶宗桂钟建国尚峰

申请人：

深圳深爱半导体有限公司

申请人地址：

518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

郑小粤

优先权：

CN200820094858.9

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16 H01L21/027

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/16

涂层处理及其设备

法律状态

2016-08-03 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101673087020
IPC(主分类) : G03F 7/16
专利号 : ZL2008200948589
申请日 : 20080617
授权公告日 : 20090429
终止日期 : 20150617

2011-12-28 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101249912628
IPC(主分类) : G03F 7/16
专利号 : ZL2008200948589
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳深爱半导体有限公司
变更后 : 深圳深爱半导体股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518029 广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼
变更后 : 518118 广东省深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路3号

2009-04-29 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201229467Y.PDF

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