本实用新型公开了一种折合式真空装置，供至少一片基板输送通过，并包括：一个第一腔体单元、一个第二腔体单元、一个连接第一、二腔体单元的真空连接单元、多个第一靶材，及多个第二靶材。该第一腔体单元包括第一内壁与第一外壁，及多个形成在第一内壁与第一外壁间的第一腔室。该第二腔体单元包括第二内壁与第二外壁，及多个形成在第二内壁与第二外壁间的第二腔室。所述第一靶材分别安装在第一内壁或/及第一外壁上且连通第一腔室。所述第二靶材分别安装在第二内壁或/及第二外壁上且连通第二腔室。藉由第一、二腔体单元的对折连接，以及第一、二靶材的选择安装设计，能达到减少占用空间及生产效率高的功效。