一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了属于微电子机械领域的一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构。其结构包括,压电悬臂梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔;其特征在于:在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔,柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部,作为液体喷射驱动器的压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置或与柔性薄膜的夹角为锐角。降低了对悬臂梁表面绝缘介质层的性能要求。柔性的有机薄膜在压电悬臂梁的驱动下能发生较大的形变;同时,防止微槽道中的液体通过悬臂梁周边的缝隙上下流动,能更有效地驱动更多液体从微喷孔中喷出,提高了液体喷射结构的工作效率和可靠性。

基本信息
专利标题 :
一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820108127.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-05-29
授权号 :
CN201200952Y
授权日 :
2009-03-04
发明人 :
刘淑芹
申请人 :
刘淑芹
申请人地址 :
100084北京市100084信箱76分箱
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200820108127.5
主分类号 :
B05B17/04
IPC分类号 :
B05B17/04  B41J2/14  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B17/00
该小类任何其他组中未包含的液体或其他流体喷射或雾化的装置
B05B17/04
用特殊方法操作
法律状态
2017-07-25 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101736587775
IPC(主分类) : B05B 17/04
专利号 : ZL2008201081275
申请日 : 20080529
授权公告日 : 20090304
终止日期 : 20160529
2009-03-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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