量具
专利权的终止
摘要
一种用于量测晶圆与点胶机喷嘴之间间距的量具，包括：底板及设于底板的倾斜体，量测时通过将所述量具置于晶圆与点胶机喷嘴之间，可以对不同范围内的间距进行量测，提高量测的准确度，节省量测的时间。
基本信息
专利标题 ：
量具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820108413.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-05-30
授权号 ：
CN201229159Y
授权日 ：
2009-04-29
发明人 ：
任林伟宋庆海田非
申请人 ：
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请人地址 ：
100176北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
李 丽
优先权 ：
CN200820108413.1
主分类号 ：
G01B5/14
IPC分类号 ：
G01B5/14
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/14
用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙
法律状态
2018-06-22 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G01B 5/14
申请日 : 20080530
授权公告日 : 20090429
申请日 : 20080530
授权公告日 : 20090429
2009-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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