研磨垫
专利权的终止
摘要
一种研磨垫,其包括一研磨层、一透明视窗设置于研磨层中,以及若干填充颗粒散布于透明视窗中以减少短波长的光线的穿透。
基本信息
专利标题 :
研磨垫
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820119261.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-06-23
授权号 :
CN201267964Y
授权日 :
2009-07-08
发明人 :
施文昌王昭钦庄志成涂良池
申请人 :
智胜科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台中市工业区16路7号
代理机构 :
上海天翔知识产权代理有限公司
代理人 :
刘粉宝
优先权 :
CN200820119261.5
主分类号 :
B24D17/00
IPC分类号 :
B24D17/00 B24D3/00 H01L21/304
法律状态
2018-07-17 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : B24D 17/00
申请日 : 20080623
授权公告日 : 20090708
申请日 : 20080623
授权公告日 : 20090708
2009-07-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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