工件卡具
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种用于物理气相沉积且能更好降低工件温度的卡具，所述卡具包括金属基座、金属挡片、绝热层和安装孔，其特征在于：金属基座上设有用于装卡工件的沟槽，金属基座除沟槽以外的表面上覆盖绝热层，金属基座底部设有金属挡片，金属挡片不与工件接触的一面上设有绝热层，金属基座上设有安装孔。其中金属基座由选自铝、铜或铁的一种高比热材料组成，绝热层为玻璃纤维或耐火纤维，沟槽中的各面与工件表面紧密接触。该工件卡具优点在于基座由高比热材料组成，可以在吸收相同热量的情况下具有较低的温升。同时，金属基座上覆盖的绝热层可以更好的隔绝来自外界的热量。
基本信息
专利标题 ：
工件卡具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820122496.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-10-21
授权号 ：
CN201313932Y
授权日 ：
2009-09-23
发明人 ：
张云龙徐健程云立承高建
申请人 ：
北京东方新材科技有限公司
申请人地址 ：
100085北京市海淀区上地信息产业基地三街九号金隅大厦C座1112室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200820122496.X
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2012-12-19 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101368921351
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL200820122496X
申请日 : 20081021
授权公告日 : 20090923
终止日期 : 20111021
号牌文件序号 : 101368921351
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL200820122496X
申请日 : 20081021
授权公告日 : 20090923
终止日期 : 20111021
2009-09-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
