本实用新型提供了一种卡具，其包括座体和卡套，卡套包括卡套部，卡套部具有沿轴向贯通的收容腔，卡套部安装在座体上。座体包括连接件，卡套还包括连接部，连接部固定连接于卡套部的轴向的一侧，连接部与连接件在竖直方向上重叠并枢转连接，以使卡套能够相对连接件在与轴向平行的水平面内枢转；卡具还包括锁定螺栓，锁定螺栓设置成：在卡套的连接部相对连接件在水平面内枢转到规定角度后，锁定螺栓在沿竖直方向螺纹穿过连接件且使连接部相对连接件固定。在对半导体晶棒的端面角度进行加工时，无需调整内圆锯刀片的角度，无需采用粘胶来实现改角度的晶棒，从而提高了半导体晶棒的端面角度进行加工的适用角度范围，提高了生产效率。