晶圆切割研磨排放水的粉末回收装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种晶圆切割研磨排放水的粉末回收装置,包括排放水集合单元、压滤单元和回收水净化循环单元,其中:排放水集合单元中的排放水集中槽内部设有喷流泵及水位感应器;至少二组与排放水集中槽出口端相连的压滤单元,每组压滤单元中设有压滤机和高压泵。本实用新型通过水位感应器适时调控压滤单元的起动或停止,使得压滤机内部的滤板可以轮流被卸下,将晶圆粉末刮除,改由另一组高压泵提供压滤,达到再细的粉末都可以得到过滤保留,却不致于使生产线中断的目的,保证切割生产线顺畅运转,解决回收切损晶圆粉末和循环用水的回收再利用。

基本信息
专利标题 :
晶圆切割研磨排放水的粉末回收装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820134528.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-09-03
授权号 :
CN201317063Y
授权日 :
2009-09-30
发明人 :
王展荣
申请人 :
林丽美
申请人地址 :
中国台湾新竹县峨眉乡中山街16号
代理机构 :
北京中安信知识产权代理事务所
代理人 :
张小娟
优先权 :
CN200820134528.8
主分类号 :
B28D7/00
IPC分类号 :
B28D7/00  B28D5/00  B24B55/12  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
法律状态
2011-11-23 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101136310279
IPC(主分类) : B28D 7/00
专利号 : ZL2008201345288
申请日 : 20080903
授权公告日 : 20090930
终止日期 : 20100903
2009-09-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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