化学机械研磨机台排放管

专利权的终止

摘要

一种化学机械研磨机台排放管，包含主排放管、排液管及排气管；所述主排放管包含具有排放通路的内筒和连接于内筒且与内筒间具有空隙的外筒，所述空隙与所述排放通路连通；所述排液管及排气管分别连接于所述外筒。可减少所述排放管中包含的所述排气管内沉积物的产生，进而可减少所述排气管内腐蚀区的形成，并延长所述排气管的使用寿命。

基本信息

专利标题：

化学机械研磨机台排放管

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720073532.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-08-09

授权号：

CN201105409Y

授权日：

2008-08-27

发明人：

任国伟

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

优先权：

CN200720073532.3

主分类号：

B24B37/04

IPC分类号：

B24B37/04 B24B29/00 B24B57/00 H01L21/304

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24B

用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给

B24B37/00

研磨机床或装置；附件

B24B37/04

适用于加工平面的

法律状态

2017-09-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749620820
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2007200735323
申请日 : 20070809
授权公告日 : 20080827
终止日期 : 无

2012-12-19 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101488968053
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2007200735323
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121121

2008-08-27 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201105409Y.PDF

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