研磨液手臂以及化学机械研磨机台
授权
摘要
本实用新型提供了一种研磨液手臂以及化学机械研磨机台。所述研磨液手臂包括壳体、研磨垫清洁刷以及驱动机构，所述研磨垫清洁刷设置于所述壳体下方，所述驱动机构与所述研磨垫清洁刷连接，并用于驱动所述研磨垫清洁刷移动及旋转以使所述研磨垫清洁刷接触并清洁研磨垫，在化学机械研磨机台处于研磨停止间隙或者待机时，所述驱动机构驱动所述研磨垫清洁刷的上下移动以及旋转，以使所述研磨垫清洁刷接触并清洁研磨垫，从而降低晶圆划伤几率。
基本信息
专利标题 ：
研磨液手臂以及化学机械研磨机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920954848.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-24
授权号 ：
CN210650151U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
岳志刚辛君林宗贤
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201920954848.6
主分类号 ：
B24B37/34
IPC分类号 ：
B24B37/34 B24B53/017 B24B57/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/34
附件
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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