化学机械研磨环
授权
摘要
本实用新型公开了一种化学机械研磨环。本实用新型所提出的化学机械研磨环包含第一环形部与第二环形部，第一环形部的材质可以是不锈钢，第二环形部的材质可以是高阶塑料，例如PPS(聚苯硫醚)。第二环形部包含内环面、外环面与下表面，其中下表面位于内环面与外环面之间。第二环形部还包含多个排水沟槽，各排水沟槽具有内开口、外开口、下开口与槽底面，内开口位于内环面，外开口位于外环面，下开口位于下表面，槽底面相对于下开口，其中各排水沟槽的截面的宽度自下开口朝槽底面渐扩。
基本信息
专利标题 ：
化学机械研磨环
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921815232.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN211103391U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
颜慧贞
申请人 ：
楷丰科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市北区光华北街15号1楼
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
王玉双
优先权 ：
CN201921815232.7
主分类号 ：
B24B37/30
IPC分类号 ：
B24B37/30 B24B37/34 H01L21/304
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211103391U.PDF
PDF下载
