一种化学机械研磨装置

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摘要

本发明公开了一种化学机械研磨装置，包括研磨台，所述研磨台的上方固定有研磨垫，研磨垫的一侧边缘上方设有三个圆周均布的研磨头，三个研磨头设有转动切换机构，转动切换机构固定在机架上；其中一个研磨头正对研磨垫，所述机架上设有驱使正对研磨垫的研磨头下移和驱使其转动的下移转动机构；所述机架上还设有驱使研磨台旋转的转动机构。本发明设有三个可旋转的研磨头，一个研磨头在研磨晶圆的同时，另外两个研磨头可分别将研磨好的晶圆输出和将带研磨的晶圆进行输入待命，可有效提高晶圆的研磨效率。

基本信息

专利标题：

一种化学机械研磨装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111872841A

申请号：

CN202010808317.3

公开（公告）日：

2020-11-03

申请日：

2020-08-12

授权号：

CN111872841B

授权日：

2022-06-07

发明人：

魏运秀

申请人：

赣州市业润自动化设备有限公司

申请人地址：

江西省赣州市赣州经济开发区香港工业园工业一路北赣州市业润自动化设备有限公司

代理机构：

深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司

代理人：

罗炳锋

优先权：

CN202010808317.3

主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/34 B24B27/00 B24B37/30 B24B41/02 H01L21/306