本实用新型公开了一种化学机械研磨装置，涉及化学研磨技术领域，包括箱体，所述箱体的底壁镶嵌有滤网，所述箱体的内部设置有清理机构，所述清理机构的下方设置有研磨机构，所述箱体的外表面固定连接有U形筒，所述U形筒的内部设置有排料机构，所述清理机构包括横梁，所述横梁的底面与箱体的上表面固定连接。它能够通过滤网、清理机构和研磨机构之前的配合，首先研磨机构能够对化学物质进行研磨，同时清理机构能够对研磨机构的表面进行清理，然后经过滤网的过滤，能够使筛选合格的化学物质筛选出去，然后解决了目前的化学研磨装置难以对粘在研辊上的化学物质进行清理，进而会影响化学原料研磨效果的问题。