吸盘装置及化学机械研磨设备
授权
摘要
本申请提供了一种吸盘装置及化学机械研磨设备。该吸盘装置包括：密封防护罩；膜组件，设置于所述箱式密封防护罩下侧，所述膜组件内具有内腔；气动组件，设置于所述箱式密封防护罩内、并通过气管与所述膜组件的内腔连通，所述气管的材料为透光材料；以及探测组件，包括相对地设置在所述气管的两侧的光源和传感器，所述传感器用于接收所述光源发出、并经过所述气管的光，以生成检测信号。
基本信息
专利标题 ：
吸盘装置及化学机械研磨设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113427393A
申请号 ：
CN202110835877.2
公开（公告）日 ：
2021-09-24
申请日 ：
2021-07-23
授权号 ：
CN113427393B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
丁齐齐周天鹏王光毅
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京英思普睿知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘莹
优先权 ：
CN202110835877.2
主分类号 ：
B24B37/00
IPC分类号 ：
B24B37/00 B24B37/27 B24B37/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-10-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/00
申请日 : 20210723
申请日 : 20210723
2021-09-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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