化学机械研磨装置

授权

摘要

本实用新型实施例公开了一种化学机械研磨装置，包括：研磨平台，围绕所述研磨平台安装的防溅挡板，以及在所述研磨平台上工作的操作部件；其中，所述防溅挡板包括固定挡板和移动挡板；所述固定挡板配置为安装在所述研磨平台外周的固定遮挡区，所述固定遮挡区为所述操作部件移动时不会经过的区域；所述移动挡板配置为能够沿所述研磨平台的外周移动，所述移动挡板的移动轨迹经过避让遮挡区，所述避让遮挡区包括所述操作部件移动时经过的区域。

基本信息

专利标题：

化学机械研磨装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020395933.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-25

授权号：

CN212385261U

授权日：

2021-01-22

发明人：

徐亮张大伟

申请人：

长江存储科技有限责任公司

申请人地址：

湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司

代理人：

刘鹤

优先权：

CN202020395933.6

主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/34 H01L21/304