一种化学机械研磨机上的排水管道

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摘要

本发明公开了一种化学机械研磨机上的排水管道，包括第一排水管和第二排水管，第一排水管和第二排水管之间设有U型的连接管，连接管由U型的上连接半管和下连接半管组成，上连接半管和下连接半管的两端分别成型有水平的上延伸半管和下延伸半管，上延伸半管的外端成型有圆环形的插管；所述上连接半管和上延伸半管两侧的下端面上成型有插条，下连接半管和下延伸半管两侧的上端面上成型有插槽，上连接半管和上延伸半管上的插条分别插接在下连接半管和下延伸半管的插槽内；所述插管的内壁上成型有贯穿插管外端面的插孔，第一排水管和第二排水管插接在插管的插孔内。

基本信息

专利标题：

一种化学机械研磨机上的排水管道

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111872843A

申请号：

CN202010787295.7

公开（公告）日：

2020-11-03

申请日：

2020-08-07

授权号：

CN111872843B

授权日：

2022-05-10

发明人：

徐俊

申请人：

杭州易正科技有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市西湖区文三路569号康新花园B幢1303室

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司

代理人：

曹立成

优先权：

CN202010787295.7

主分类号：

B24B37/34

IPC分类号：

B24B37/34 B24B57/02