一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机
专利权的终止
摘要
一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机,其蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚。本实用新型能够在蒸镀上铝膜后,马上在蒸镀好铝膜的表面蒸镀上铝加强层,两个蒸发步骤同时进行,实现了铝金属化电容器留边加厚,最大优点是形成以层天然氧化层,抗潮湿能力强,储存周期长,自愈性能好,自愈后金属化膜能生成Al2O3,不影响电容器参数。同时本实用新型提高了整个镀膜的质量,同时也提高了蒸镀效率,解决了国内外现有真空蒸镀机无法制备铝加厚金属化电容器用薄膜的问题。同时本实用新型的全铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机还能用来生产纯铝的金属化电容器用的薄膜。
基本信息
专利标题 :
一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820153842.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-10-09
授权号 :
CN201272826Y
授权日 :
2009-07-15
发明人 :
唐朝明
申请人 :
上海奥移电器有限公司
申请人地址 :
201300上海市南汇区横沔镇新苗村8组730号
代理机构 :
上海天翔知识产权代理有限公司
代理人 :
吕 伴
优先权 :
CN200820153842.0
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24 C23C14/14 H01G4/33
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2011-01-05 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101029337473
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2008201538420
申请日 : 20081009
授权公告日 : 20090715
终止日期 : 20091109
号牌文件序号 : 101029337473
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2008201538420
申请日 : 20081009
授权公告日 : 20090715
终止日期 : 20091109
2009-07-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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