电镀液过滤装置
专利权的终止
摘要
本实用新型揭露了一种电镀液过滤装置，包括滤筒以及位于滤筒两端的底座和顶盖，其中滤筒内设有滤芯以实现对电镀液的过滤，且顶盖具有电镀液出口，该电镀液出口与一电镀反应室相通；同时，顶盖还具有排气口，且该排气口与一排气通道相通。可见，以上电镀液过滤装置于顶盖上增设排气口，以引导过滤装置内残留气泡通过该排气口排出。由于残留气泡多聚集于过滤装置的顶部，故设置于顶盖上的排气口可有效的引导残留气泡的排出，提高芯片质量与产出效率。
基本信息
专利标题 ：
电镀液过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820154305.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-10-21
授权号 ：
CN201362750Y
授权日 ：
2009-12-16
发明人 ：
陈亮
申请人 ：
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 ：
201203上海市张江路18号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所
代理人 ：
屈 蘅
优先权 ：
CN200820154305.8
主分类号 ：
C25D21/06
IPC分类号 ：
C25D21/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D21/00
电解镀覆用电解槽的维护或操作方法
C25D21/06
过滤
法律状态
2018-11-13 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : C25D 21/06
申请日 : 20081021
授权公告日 : 20091216
申请日 : 20081021
授权公告日 : 20091216
2013-03-20 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101542193203
IPC(主分类) : C25D 21/06
专利号 : ZL2008201543058
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130221
号牌文件序号 : 101542193203
IPC(主分类) : C25D 21/06
专利号 : ZL2008201543058
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130221
2009-12-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN201362750Y.PDF
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