本实用新型涉及一种氩气净化装置，该装置包括电加热炉，反应器，热交换器，真空泵，过滤器，原料氩气首先与经过反应器加热出来的高温气体在热交换器中换热，然后进入电加热炉内的反应器中被加热度，反应器的反应管中填充有吸附剂吸附杂质，反应管出来的高温气体经过热交换器进入冷却管，然后经过过滤器过滤掉微米级粉尘后进入低压缓冲罐回收。当原料采用纯氩时，通过本装置净化，在净化的初期生产出高纯氩，中后期会生产出超纯氩，整个装置结构简单，经济性强。