本实用新型公开了一种高纯度氩气净化装置，包括低温储罐和预处理罐，所述低温储罐的下端表面固定安装有一号管，所述一号管的表面远离低温储罐的一端固定安装有空温式汽化器，所述空温式汽化器的表面远离一号管一侧固定安装有二号管，所述二号管的表面远离空温式汽化器一端固定安装有减压箱，所述减压箱的上表面两边固定安装有压力表，所述减压箱的表面固定安装有三号管。本实用新型所述的一种高纯度氩气净化装置，设有存储柜、喷洒头和干燥板，能够便于工作人员的工作，提高生产效率，并使得反应更加充分，且能够保障其氩气的纯度更高，适用于不同工作状况，带来更好的使用前景。