本实用新型公开了一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，包括进气管路、第一换热器、吸气反应器、第二换热器、脱氢罐和出气管路，所述进气管路与所述第一换热器的冷媒入口相连，所述第一换热器的冷媒出口与所述吸气反应器相连，所述吸气反应器内设有吸气剂，所述吸气反应器处设有用于加热吸气剂的加热元件，所述吸气反应器的出口与所述第一换热器的热媒入口相连，所述第一换热器的热媒出口与所述第二换热器的热媒入口相连，所述第二换热器的热媒出口与所述脱氢罐相连，所述脱氢罐与所述出气管路相连。本实用新型中加高效吸气剂脱氢罐，可脱除吸气反应器后端产品氩气和氦气中的杂质氢至ppb级，保证产品气出口氢含量指标不波动。