一种氮化硅陶瓷球轴承，用于精密、高速机床主轴。轴承外圈与内圈之间有沟槽，滚动体装在保持架窗口内，并嵌入外圈与内圈之间的沟槽中，内圈中心有孔，滚动体材料为氮化硅陶瓷；外圈与内圈之间的两端面装有多唇多腔密封圈，其外装有防尘盖；保持架材料为高刚性工程塑料，防尘盖用磁性材料制作。本实用新型采用氮化硅陶瓷球替代传统钢球作为轴承的滚动体，密度小、受力后弹性变形小、相对载荷的刚性高、热膨胀系数、摩擦系数及工作时产生热量较小，在提高球的精度同时，还提高了内圈及外圈沟槽精度以及保持器尺寸精度，将异步振摆精度降低到了以前的1/2。通过轴承的高精度化，可提高机床主轴转动精度，还可提高精密部件表面以及模具切削面质量。