基板移送装置
授权
摘要

本发明是关于一种基板移送装置,在对脆性材料基板刻划并切断后,移送至下一步骤阶段时,不会对基板等造成损伤地将基板滑顺地移送。该基板移送装置,具备将基板从第1位置空间部(A)往第2位置空间部(B)移送的输送皮带(20)、以及配置于第1位置空间部(A)与第2位置空间部(B)之间的皮带旋转驱动部;该皮带旋转驱动部,构成为:借由将输送皮带(20)的上部皮带压下而与上部皮带对应的下部皮带也下降,此外,借由将下部皮带压升而上部皮带也上升。

基本信息
专利标题 :
基板移送装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN105293039A
申请号 :
CN201510340642.0
公开(公告)日 :
2016-02-03
申请日 :
2015-06-18
授权号 :
CN105293039B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
柳俊圭
申请人 :
三星钻石工业股份有限公司
申请人地址 :
日本大阪府摄津市香露园32番12号
代理机构 :
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 :
寿宁
优先权 :
CN201510340642.0
主分类号 :
B65G47/52
IPC分类号 :
B65G47/52  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/52
在输送机之间转移物件或物料的装置,即卸料或供料装置
法律状态
2022-04-01 :
授权
2017-07-04 :
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101731392095
IPC(主分类) : B65G 47/52
专利申请号 : 2015103406420
申请日 : 20150618
2016-02-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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