空气主轴的抛光处理方法
授权
摘要
本发明的空气主轴的抛光处理方法，包括：将经超声波振动清洗的空气主轴置于等离子体反应腔；调节所述等离子体反应腔内的真空度至第一值；向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气并保持所述真空度；控制所述等离子体反应腔的阴极射频频率为80～100KHz，阳极射频频率为30～35MHz，以实现第一次辉光放电。本发明能高效清洗空气主轴表面的有机残留物，从而保证表面光滑洁净，降低摩擦力，以提高工作稳定性及精密度并延长使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
空气主轴的抛光处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108080356A
申请号 ：
CN201611039897.4
公开（公告）日 ：
2018-05-29
申请日 ：
2016-11-22
授权号 ：
CN108080356B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
张涛杰
申请人 ：
东莞新科技术研究开发有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市南城区宏远工业区
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN201611039897.4
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2019-11-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 7/00
申请日 : 20161122
申请日 : 20161122
2018-05-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN108080356A.PDF
PDF下载
