基板处理装置的排程制作方法以及排程制作程序
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摘要
控制部51在对某基板W配置使用处理部SPIN1～SPIN12的资源的处理时，在处理部SPIN1～SPIN12的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下，配置基板W的处理，在优先设定为维护优先的情况下，在基板W的处理前配置维护处理。因此，能够进行反映用户对于优先处理的期望的处理。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置的排程制作方法以及排程制作程序
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108200778A
申请号 ：
CN201680064974.3
公开（公告）日 ：
2018-06-22
申请日 ：
2016-10-13
授权号 ：
CN108200778B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
山本真弘
申请人 ：
株式会社斯库林集团
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
向勇
优先权 ：
CN201680064974.3
主分类号 ：
H01L21/02
IPC分类号 ：
H01L21/02 B65G49/07 H01L21/304 H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2018-07-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/02
申请日 : 20161013
申请日 : 20161013
2018-06-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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