放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元...
授权
摘要
本发明提供一种灵敏度良好且灵敏度的经时稳定性优异的放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置。本发明的放射线敏感性树脂组合物包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水，所述放射线敏感性树脂组合物中，光聚合引发剂包含具有选自支链烷基及环状烷基中的至少1种基团的肟酯化合物，相对于放射线敏感性树脂组合物的质量，水的含量为0.1～2质量％。
基本信息
专利标题 ：
放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108369377A
申请号 ：
CN201680070064.6
公开（公告）日 ：
2018-08-03
申请日 ：
2016-12-02
授权号 ：
CN108369377B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
奈良裕树青柳薰
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
曹阳
优先权 ：
CN201680070064.6
主分类号 ：
G03F7/029
IPC分类号 ：
G03F7/029 G03F7/004 G03F7/027 G03F7/031 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/027
具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物
G03F7/028
含有增光敏物质的，例如，感光刺激剂
G03F7/029
无机化合物；类化合物；含杂原子而不含氧、氮、硫原子的有机化合物
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2018-08-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/029
申请日 : 20161202
申请日 : 20161202
2018-08-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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