用于玻璃载体晶片的低CTE硼铝硅酸盐玻璃
授权
摘要
本发明涉及一种具有低脆性的低CTE硼铝硅酸盐玻璃，特别是用于在晶片级封装(WLP)应用使用，其具有以摩尔％计的如下组成：SiO2：60‑85，Al2O3：1‑17，B2O3：8‑20，Na2O：0‑5，K2O：0‑5，MgO：0‑10，CaO：0‑10，SrO：0‑10，BaO：0‑10，其中每个多面体的非桥接氧的平均数(NBO)等于或大于‑0.2且B2O3/Al2O3的比值等于或大于0.5，其中NBO定义为NBO＝2×Omol/(Simol+Almol+Bmol)‑4。本发明还涉及由低CTE硼铝硅酸盐玻璃制成的玻璃载体晶片及其作为玻璃载体晶片用于处理硅衬底的用途。本发明还涉及一种提供低CTE硼铝硅酸盐玻璃的方法。
基本信息
专利标题 ：
用于玻璃载体晶片的低CTE硼铝硅酸盐玻璃
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108602713A
申请号 ：
CN201680080139.9
公开（公告）日 ：
2018-09-28
申请日 ：
2016-02-02
授权号 ：
CN108602713B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
钱鹏翔后运飞薛军明R·理拜德黑木浩
申请人 ：
肖特玻璃科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市新区科技工业园火炬路79号
代理机构 ：
北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
彭臻臻
优先权 ：
CN201680080139.9
主分类号 ：
C03C4/02
IPC分类号 ：
C03C4/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C4/00
特殊性能玻璃的组成
C03C4/02
着色玻璃
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2018-10-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03C 4/02
申请日 : 20160202
申请日 : 20160202
2018-09-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
