能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法
授权
摘要
本发明涉及能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法。本发明的课题在于提供热重量稳定性优异的能量敏感性组合物、以及使其固化而得到的固化物及固化物的制造方法。本发明提供一种能量敏感性组合物，其包含选自下述组中的至少1种化合物成分(P)、和(Q)式(a1)表示的锍盐，所述组由(P1)基于阳离子性及/或酸催化性方式的聚合性以及/或者交联性化合物、(P2)在酸的作用下在显影液中的溶解性增大的化合物、和(Px)自由基聚合性或交联性的化合物构成。
基本信息
专利标题 ：
能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107229185A
申请号 ：
CN201710184709.5
公开（公告）日 ：
2017-10-03
申请日 ：
2017-03-24
授权号 ：
CN107229185B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
黑子麻祐美千坂博树野田国宏盐田大
申请人 ：
东京应化工业株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
杨宏军
优先权 ：
CN201710184709.5
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2019-03-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20170324
申请日 : 20170324
2017-10-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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