微机械z加速度传感器
授权
摘要
一种微机械z加速度传感器(100)，所述微机械z加速度传感器具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内垂直于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。
基本信息
专利标题 ：
微机械z加速度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107976557A
申请号 ：
CN201710976930.4
公开（公告）日 ：
2018-05-01
申请日 ：
2017-10-19
授权号 ：
CN107976557B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
A·皮格勒尼耶D·古格尔G-N-C·乌尔希里M·林克-莱斯卡纳S·京特T·赫尔
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭毅
优先权 ：
CN201710976930.4
主分类号 ：
G01P15/08
IPC分类号 ：
G01P15/08 G01P15/18 B81B3/00 B81C1/00 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2019-11-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/08
申请日 : 20171019
申请日 : 20171019
2018-05-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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